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精抛材料
产品介绍:
白垫,具有高移除率、高平坦性、低缺陷性与高性价比等优势。因具有特殊之微孔结构,对研磨液具备良好之保持性,同时因研磨垫具有适度之刚性,加上良好之研磨再现性,可提升制程之稳定性与尺寸精密度。产品具有:效率高,无划伤,使用寿命长,弹性好,力道柔和等特点。产品抛光后表面得到一个非常光滑、整齐的效果。抛光垫表面可以开各种槽形,槽可帮助抛光液流动并带走切削 的细流。
产品应用:
适用于半导体、光学元件、晶体及金属和玻璃材料的终道抛光,也可用来抛光特殊材质,诸如硅、锗、硒脂锌、砷化镓、合金钢、陶瓷、塑料(丙烯酸玻璃)等。
产品参数
品名 |
型号 |
厚度 (mm) |
硬度 (o) |
压缩率 (%) |
用途 |
白垫系列 |
BD-400 |
1.3±0.1 |
65±5 |
7±1 |
粗抛以及精密抛光 |
BD-600 |
1.3±0.1 |
80±5 |
3±1 |
粗抛以及精密抛光 |
|
BD-800 |
1.3±0.1 |
85±5 |
3±1 |
粗抛以及精密抛光 |